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      半導體冷水機的作用

      點擊次數:3955    更新時間:2017-07-21

      半導體冷水機的作用

          半導體冷水機是指 應用在半導體領域,如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。

          半導體冷水機的出現以及廣泛應用,是隨著科技的不斷發展,現代超精密制造、加工、測量儀器對工作環境提出了苛刻要求,尤其是以光刻機為代表的超大規模集成電路制造設備,其高集成度導致常規散熱方法遠遠不能滿足要求,同時投影物鏡的光刻質量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環境參數的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此,環境參數尤其是溫度的控制成為一項關鍵問題,而半導體冷水機的出現正好解決了這一難題。

       半導體冷水機溫度控制系統是保證步進掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設備良好工作狀態的重要組成單元。

      半導體冷水機參數:

      產品名稱

      型號

      制冷量

      出水壓力
      Kgf/cm

      水流量
      l/min

      功率
      W

      水箱容積
      L

      外形尺寸

      長*寬*高

      半導體

      冷水機

      Kw/h

      Kca/h

      TF-LS-300W

      0.3

      258

      0.1-0.6

      9-20

      280

      5.5

      505*230*500

      TF-LS-600W

      0.6

      516

      0-2

      0-60

      900

      16

      650*550*750

      TF-LS-1KW

      1

      860

      0-2

      0-60

      900

      16

      650*550*750

      TF-LS-1.5KW

      1.5

      1290

      0-2

      0-60

      900

      16

      650*550*750

      TF-LS-2KW

      2

      1720

      0-2

      0-60

      1200

      27

      650*550*900

      TF-LS-2.5KW

      2.5

      2150

      0-2

      0-60

      1200

      27

      650*550*900

      TF-LS-3KW

      3

      2580

      0-2

      0-60

      1500

      37

      650*650*1050

      TF-LS-3.5KW

      3.5

      3010

      0-2

      0-60

      1500

      37

      650*650*1050

      TF-LS-4KW

      4

      3440

      0-2

      0-60

      2000

      43

      700*650*1050

      TF-LS-4.5KW

      4.5

      3870

      0-2

      0-60

      2000

      43

      700*650*1050

      TF-LS-6KW

      6

      5160

      0-2

      0-60

      2300

      45

      750*650*1050

      TF-LS-6.5KW

      6.5

      5590

      0-2

      0-60

      2300

      45

      750*650*1050

      TF-LS-8KW

      8

      6880

      0-2

      0-60

      2865

      47

      750*700*1050

      TF-LS-10KW

      10

      8600

      0-2

      0-60

      2865

      47

      750*700*1050

      TF-LS-12KW

      12

      10320

      0-2

      0-60

      3870

      80

      1200*650*1200

      TF-LS-15KW

      15

      12900

      0-2

      0-60

      4600

      88

      1200*715*1200

      TF-LS-18KW

      18

      15480

      0-2

      0-60

      5280

      105

      1350*750*1500

      TF-LS-20KW

      20

      17200

      0-2

      0-60

      7150

      180

      1350*800*1600

      TF-LS-23KW

      23

      19780

      0-2

      0-60

      7150

      180

      1350*800*1600

      TF-LS-25KW

      25

      21500

      0-2

      0-60

      9000

      195

      1350*850*1735

      TF-LS-30KW

      30

      25800

      0-2

      0-60

      9000

      195

      1350*850*17358

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